近来，由内蒙古大学动力资料化学研讨院履行院长张凡教授作为首要负责人承当的2023年“稀土新资料”国家重点研制方案“集成电路制作用纳米稀土抛光资料制备基础研讨”项目正式获得了科技部的同意。该项目由复旦大学牵头，联合内蒙古大学、包头天骄清美稀土抛光粉有限公司等国内闻名高校、企业单位一起申报。这是动力资料化学研讨院自建院以来科研项目申报的重要里程碑。

  集成电路是现代化工业系统的中心纽带，联系国家安全和中国式现代化进程。跟着半导体制程节点不断缩小，对半导体外表平整度的要求也不断的进步。化学机械抛光CMP是完成集成电路大局平整化的仅有工艺。CMP工艺中最中心的消耗品-抛光液正处在“卡脖子”的要害节点，集成电路制作自主立异系统是其破解要害。本项目根据新的资料，开展新的抛光系统，构成具有我国自主知识产权的专利群，产品对标职业头部公司，争夺挨近、到达并赶超对应产品的技能指标。打破国外公司对集成电路超精细抛光资料范畴的技能独占，共享高性能抛光的市场份额。

  此次项目申报成功打开了动力资料化学研讨院与各联合申报单位深度协作的大门，并以此次项目为关键，在我国北疆建造一支具有世界影响力的“面向集成电路抛光使用的稀土纳米氧化铈”研讨团队，开辟稀土资料使用研讨新方向，争夺为我国集成电路抛光范畴向高端智能化方向开展注入新动能。

  特别阐明：因为各方面状况的不断调整与改变，华禹教育网（）所供给的信息为非商业性的教育和科研之意图，并不代表附和其观点或证明其内容的真实性，仅供参考，有关信息敬请以权威部门发布的正式信息为准。